奈米矽表面處理產品D C S G 系列奈米矽塗層, 主要成份是以奈米S i O 2 , Y 2 O 3 為主成份的溶凝膠, 為完全無機組成的奈米結合劑, 塗料成品具有抗電漿擊穿、高硬度、隔熱性、耐酸性、耐候性、 耐熱溫度約8 0 0 ℃ 以上, 適用於各種電漿蝕刻製程, 產品均符合R O H S 測試規範。
